ナノメートル(100万分の1 mm)サイズに細く絞った、ガリウム(Ga)イオンのビームを試料表面に当てることにより、ミクロンサイズの小さな範囲をエッチング加工や観察をすることができます。また、導電性のあるカーボン膜を付けることもできます。これにより、試料表面へ任意形状の加工や、断面加工・観察などに活用できます。詳しくはパンフレットをご覧ください。


ナノ加工用イオンビーム装置パンフレット