半導体製造装置、分析・解析装置におけるナノスケールでの位置決め技術において、共振周波数より低域側で発生するゲイン低減の対策となる高速高精度制御法についての研究成果をご紹介します。

高速高精度位置決め機構(Nano-Motion Actuator:NMA) のダンパ適用による特性変動と制御技術