最も汎用性の高い薄膜作製手法であるスパッタ法を利用した金属や酸化物薄膜は様々な電子デバイス製品等に使われています。当センターでは、スパッタ法による薄膜材料開発のみならず、薄膜の解析技術、製品及び製造装置の管理手法等の包括的な技術支援を行っています。ご興味のある方は、パンフレットをご覧の上、お気軽にご相談下さい。


薄膜材料開発・評価技術の支援パンフレット